空氣過濾器的原型是人們?yōu)楸Ｗo呼吸而使用的呼吸保護器具。據(jù)記載，早在一世紀的羅馬，人們在提純水銀的時候就用粗麻制成的面具進行保護。在此之后的漫長時間里，空氣過濾器也取得了進展，但其主要是作為呼吸保護器具用于一些危險的行業(yè)，如有害化學品的生產(chǎn)。1827年布朗發(fā)現(xiàn)了微小粒子的運動規(guī)律，人們對空氣過濾的機理有了進一步的認識。
空氣過濾器的迅速發(fā)展是與軍事工業(yè)和電子工業(yè)的發(fā)展緊密相關(guān)的。玻璃纖維過濾介質(zhì)用于空氣過濾于1940年10月在美國取得專利。50年代，美國對玻璃纖維過濾紙的生產(chǎn)工藝進行了深入的研究，使空氣過濾器得到了改善和發(fā)展。60年代， HEPA空氣過濾器問世，70年代，采用微細玻璃纖維過濾紙作為過濾介質(zhì)的HEPA過濾器，對013微米粒徑的粒子過濾效率高達99.9998%。八十年代以來，隨著新的測試方法的出現(xiàn)、使用評價的提高及對過濾性能要求的提高，發(fā)現(xiàn)HEPA空氣過濾器存在著嚴重的問題，于是又產(chǎn)生了性能更高的ULPA空氣過濾器。目前，各國仍在努力研究，估計不久就會出現(xiàn)更先進的空氣過濾器。
同時空氣過濾器在微電子行業(yè)的重要性及應用不論是普通高效過濾器還是FFU，出廠前都要經(jīng)過逐臺掃描測試。國內(nèi)目前沒有掃描測試方法標準，能擠進芯片廠的過濾器廠家是按歐美標準對過濾器進行掃描測試的。芯片廠的人認為，過濾器傳統(tǒng)檢驗方法用的試驗粉塵本身就是污染源，所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的帳。
空氣過濾器在微電子行業(yè)的重要性及應用，空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵，但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大，普通過濾器就能將其過濾掉。有人說搞電子工業(yè)的理想地點應該遠離海岸，可沿海地區(qū)經(jīng)濟發(fā)達，芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū)，在過濾器上多花點錢就是了。
空氣過濾器本身的設(shè)計也取得了顯著進展，其中最重要的是分隔板的去除，即無隔板過濾器的發(fā)展。無隔板過濾器不僅消除了分隔板損壞過濾介質(zhì)的危險，而且有效地增加了過濾面積，提高了過濾效率，并降低了氣流阻力，從而減少了能量消耗。 |
